【オンデマンド配信】装置動画で学ぶリソグラフィ工程－スピンコート・露光・現像を中心に－

印刷用ページを表示する公開開始日時：2024年6月10日更新

状態: 募集中の研修
種別: セミナー
種目: オンデマンド配信
概要: 半導体・MEMSセンサや、光回折格子、マイクロ流路チップなどにみられる微細構造の製造工程では、紫外線フォトリソグラフィや、電子線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノからマイクロメートルスケールのパターニング技術が利用されています。本オンデマンド配信では、当センターの加工設備を用いた実験室レベルでのリソグラフィ工程の動画を交えて紹介し、入門知識の解説を行います。また、ガラス基板に成膜された金属薄膜をウェットエッチングして作る光学回折格子の試作工程を紹介し、理解を深めていただきます。これから微細加工やリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている方のご参加をお待ちしております。
※1 本配信の内容は、過去（2021から2023年度）に配信された「MEMS微細加工入門1・リソグラフィ」、及び「ナノ・マイクロスケールの微細加工入門シリーズ・装置動画で学ぶリソグラフィ工程」と同等のものです。
※2 本配信の解説は音声読み上げソフト使用しています。
※3 配信動画の著作権は都産技研に帰属します。録音・録画はご遠慮ください。